10nm精度で測定可能な新たな超高精度三次元測定機を商品化 [パナソニック]

パナソニック株式会社は、小型から大型のレンズや金型の高精度測定を可能とする新たな2つの超高精度三次元測定機を開発しました。小型用は30mm角の測定領域、大型用は500mm角の測定領域までカバーし、最高10nm精度の測定が可能です。なお、本測定機は、2015年4月より、パナソニック ファクトリーソリューションズ(株)において、UA3P-3000、UA3P-700Hとして本格受注を開始しました。

http://news.panasonic.com/press/news/data/2015/04/jn150421-4/jn150421-4.html

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