EUVパイロット光源で世界最高水準の発光効率5％を実証 [NEDO]

NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン（株）は最先端半導体製造ラインでの稼働を想定したEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ光源を完成させ、出力105Ｗの安定運転と、世界最高水準である発光効率5％を実証しました。

この運転実証の成功により、最先端半導体製造ラインの実現に大きく近づきました。
http://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_100659.html