薄膜トランジスタアレイの検査技術を大幅に高速・大面積化 [産総研]

国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】(以下「産総研」という)フレキシブルエレクトロニクス研究センター【研究センター長 鎌田 俊英】 フレキシブル材料基盤チーム 堤 潤也 主任研究員、同研究センター 長谷川 達生 総括研究主幹らは、産総研が独自に開発した薄膜トランジスタ(TFT)アレイ一括検査技術の測定感度と検査面積を大幅に向上させるとともに、本技術を応用したストレージキャパシターの検査を可能にした。

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2018/pr20180115/pr20180115.html