地盤や構造物の微小振動を、高感度かつ低消費電力で検出できる MEMS加速度センサーを開発 [日立製作所]

株式会社日立製作所(執行役社長兼CEO:東原 敏昭／以下、日立)は、MEMS*1技術と回路技術を高度に融合することで、地盤や構造物からの微小振動を高感度かつ低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発しました。

http://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2018/01/0122.html