東京エレクトロン、パワー半導体向けウェーハ状態でのダイナミック試験に成功 [東京エレクトロン株式会社]

東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社(東京都港区、社長:竹中博司)は、技術的に難しいとされていた、パワー半導体向けのウェーハ状態でのダイナミック試験を可能にする装置の開発に成功しました。

省エネ技術の必要性の高まりに応じて、パワー半導体の高効率化を達成する新技術・材料の研究開発が注目されています。最先端のパワー半導体は、複数のパワー半導体をひとつのモジュールへ実装(パッケージング)することから、最終製品での不良品率低減が重要な課題となっています。このため、パワー半導体を実装する前のウェーハ状態で、実装後の試験と同等なダイナミック試験を行いたいというニーズが高まっていました。