独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）ナノエレクトロニクス研究部門【研究部門長 金丸 正剛】ナノスケール計測・プロセス技術研究グループ 福田 浩一 主任研究員らは、大規模集積回路（LSI）の基板上に転写する回路パターン（リソグラフィーパターン）の詳細な形状を反映できる回路特性解析システムを開発した。
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2013/pr20130416/pr20130416.html
独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）ナノエレクトロニクス研究部門【研究部門長 金丸 正剛】ナノスケール計測・プロセス技術研究グループ 福田 浩一 主任研究員らは、大規模集積回路（LSI）の基板上に転写する回路パターン（リソグラフィーパターン）の詳細な形状を反映できる回路特性解析システムを開発した。
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2013/pr20130416/pr20130416.html