微細な電子デバイスの表面形状などを3Dで測定する工業用顕微鏡2機種を同時発売 [オリンパス]

オリンパス株式会社(社長:笹 宏行) は、研究・開発や品質管理の場面で使用される工業用レーザー顕微鏡として、微細な電子デバイスや高機能素材などの表面形状を3次元(3D)で観察・測定する3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS4100」を6月3日から全世界で同時発売します。また、レーザー顕微鏡の機能に加え、より高倍率のナノ領域の観察・測定が可能なナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」を6月3日より日本国内と中国、韓国、タイで発売します。

http://www.olympus.co.jp/jp/news/2013a/nr130529olsj.jsp

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