世界で初めてウェハレベル真空封止技術を活用した 人感センサ向け16×16素子MEMS非接触温度センサを開発　[オムロン]

オムロン株式会社（本社：京都市下京区、代表取締役社長：山田義仁）は、赤外線センサとしては世界で初めてウェハレベル真空封止技術を活用することにより、90度の広い視野範囲と高精度なエリア温度検知を実現した16×16素子のMEMS非接触温度センサの開発を完了しました。2013年10月よりサンプル出荷を開始します。

http://www.omron.co.jp/press/2013/05/e0529.html