電子線ホログラフィを用いた化合物半導体解析法を確立 [古河電工]By 事務局 / 2014/08/21 当社は、一般財団法人ファインセラミックスセンター（以下、JFCC）（注1）との共同研究で、電子線ホログラフィ（注2）を用いた化合物半導体（注3）中の不純物分布解析手法を確立しました。本研究では、化合物半導体のpn 接合（注4）だけではなく、極めて微量な不純物濃度差を捉えることに世界で初めて成功しました。 http://www.furukawa.co.jp/what/2014/kenkai_140821.htm
