目盛り誤差1ナノメートル以下のリニアエンコーダーを実現 [産総研]

独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】(以下「産総研」という)計測標準研究部門【研究部門長 千葉 光一】長さ計測科 ナノスケール標準研究室 堀 泰明 主任研究員、権太 聡 研究室長、長さ標準研究室 尾藤 洋一 研究室長と、株式会社ニコン【社長 牛田 一雄】(以下「ニコン」という)は共同で、リニアエンコーダー(高精度加工機械などに組み込まれる「ものさし」)の高精度化に取り組み、ナノメートル(nm、1 mmの百万分の1)以下の誤差の目盛を実現した。

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2014/pr20141110/pr20141110.html

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