多結晶ゲルマニウムトランジスタの性能を大幅に向上 [産総研]

独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】(以下「産総研」という)ナノエレクトロニクス研究部門【研究部門長 安田 哲二】新材料・機能インテグレーショングループ 森 貴洋 研究員らは、大規模集積回路(LSI)の3次元(3D)積層技術の実現に向けて、新たな多結晶膜形成技術を開発し、N型多結晶ゲルマニウム(Ge)トランジスタの性能を大幅に改善した。

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2014/pr20141216/pr20141216.html

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