世界初 表面実装型MEMS角加速度センサの開発 [村田製作所]By 事務局 / 2015/05/14 株式会社村田製作所は、世界で初めて表面実装型のMEMS角加速度センサを開発いたしました。 http://www.murata.com/ja-jp/about/newsroom/news/product/sensor/2015/0514