計測・分析装置の性能を飛躍的に高める高輝度・細束な電子源を開発 [物質・材料研究機構]

国立研究開発法人 物質・材料研究機構 極限計測ユニットのZhang Han 主任研究員および先端材料プロセスユニット 一次元ナノ材料グループの唐 捷グループリーダーは、電子顕微鏡などの電子源として期待されているランタンホウ化物(LaB6)単結晶ナノワイヤの表面を原子レベルでクリーニングする技術を開発し、電子源の高性能化と安定性の向上に成功しました。さらに、開発した電子源を走査型電子顕微鏡に組み込んで高分解能の像を得ることに成功し、実際に電子顕微鏡の高輝度・細束な電子源として使用できることを示しました。
http://www.nims.go.jp/news/press/2015/12/201512010.html

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