NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン（株）は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を開発し、エネルギー安定性平均0.5％以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力108Ｗの安定発光を、24時間連続運転で成功しました。
NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン（株）は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を開発し、エネルギー安定性平均0.5％以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力108Ｗの安定発光を、24時間連続運転で成功しました。