NEDOプロジェクトにおいて、東洋炭素（株）と関西学院大学は、コア技術の「Si蒸気圧エッチング技術」を用いた「SiCウエハの平坦表面処理技術」を完成、従来の処理法に比べて欠陥を1／20に低減しました。さらに、この「Si蒸気圧エッチング技術」を応用することで、ウエハ薄板化加工も容易となり、高品質薄板化SiCエピウエハの製造を可能としました。この技術を用いることでSiCデバイスの実用化が加速、自動車や機器の省エネ化を可能にします。
http://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_100556.html