シリコン基板上に窒化アルミニウム高品質結晶を製膜 [理化学研究所]

理化学研究所(理研)光量子工学研究領域テラヘルツ研究グループ テラヘルツ量子素子研究チームの平山秀樹チームリーダー、ティン・トラン国際特別研究員、前田哲利技師、定昌史研究員らの研究チーム※は、シリコン(Si)基板上に窒化アルミニウム(AlN)半導体[1]の高品質結晶を製膜することに成功しました。従来よりも安価、かつ高効率で発光する深紫外LED[2]の実現につながる成果です。

http://www.riken.jp/pr/press/2016/20161215_2/

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