世界初 300mm対応の3次元集積化LSI用常温ウェーハ接合装置を開発 [三菱重工業株式会社]

三菱重工業株式会社

三菱重工業は、3次元集積化LSI（大規模集積回路）が製造できる300mm（12インチ）対応の全自動常温ウェーハ接合装置を開発し、初号機を独立行政法人産業技術総合研究所（産総研）に納入した。LSI用で主流サイズとなった300mmの大口径ウェーハを立体的に積層できる常温接合装置の製品化は世界初。加熱による劣化がなく生産性も高い利点を活かし、微細化の限界にあるLSIの大容量化や高性能化、低コスト化に貢献していく。