MEMSによる超音波「レーザ」の実現に世界で初めて成功 [NTT]

日本電信電話株式会社(以下NTT、本社:東京都千代田区、代表取締役社長:鵜浦博夫)は、安定度の高い光を作り出す技術として広く用いられているレーザと類似の原理をMEMSに適用し、100万分の1以下という小さな周波数揺らぎしか持たない振動子の動作を実現しました。

http://www.ntt.co.jp/news2013/1303/130318a.html

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