独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）集積マイクロシステム研究センター【研究センター長 前田 龍太郎】ライフインターフェース研究チーム【研究チーム長 亀井 利浩】小林 健 主任研究員は、大日本印刷 株式会社【代表取締役社長 北島 義俊】（以下「大日本印刷」という）研究開発センター 次世代MEMS研究所【所長 鈴木 浩助】森脇 政仁 研究員、瓜生 敏文 研究員と共同で、圧電薄膜であるチタン酸ジルコン酸鉛（Pb(Zr,Ti)O3、PZT）薄膜を用いた圧電MEMSデバイスの200 mmウエハープロセス技術を開発した。
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2014/pr20140128/pr20140128.html