独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）計測標準研究部門【研究部門長 千葉 光一】長さ計測科 長さ標準研究室 尾藤 洋一 研究室長、近藤 余範 主任研究員は、株式会社 テクニカル【代表取締役社長 山内 一秀】（以下「テクニカル社」という）と共同で、平面度 λ/100（約6.3 nm:関東平野の広さに対して5 mm程度の凹凸に相当）の超高精度平面ガラス基板を開発した。
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2014/pr20140724/pr20140724.html