東レ株式会社（本社：東京都中央区、社長：日覺昭廣、以下「東レ」）はこのたび、次世代パワーエレクトロニクス（インバータなどの電力機器）に用いられるシリコンカーバイド（Silicon Carbide、以下「SiC」)トランジスタ向けに、製造工程であるイオン注入プロセスを大幅に簡略化できる感光性耐熱レジストを開発しました。
http://www.toray.co.jp/news/it_related/detail.html?key=445D1067CA9F9ABD49257D550021CE3E
東レ株式会社（本社：東京都中央区、社長：日覺昭廣、以下「東レ」）はこのたび、次世代パワーエレクトロニクス（インバータなどの電力機器）に用いられるシリコンカーバイド（Silicon Carbide、以下「SiC」)トランジスタ向けに、製造工程であるイオン注入プロセスを大幅に簡略化できる感光性耐熱レジストを開発しました。
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