温度無依存で高オンオフ比動作する シリコン集積光スイッチを開発 [NEC]

日本電気株式会社

NECは、シリコン光集積回路技術を利用して、高いオンオフ比（消光比）と環境温度に依存しない特性を有する光スイッチを開発しました。

このたび開発した光スイッチは、LSI製造向け標準CMOSプロセスを活用して形成したシリコン光導波路をベースに、ヒータによる局所加熱で光路を制御する微小な素子152個を集積化し、入射8ポート／出射8ポートの間の光経路を自由に設定する機能を16mm×12mmのチップ上で実現したものです。