国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）ナノ材料研究部門【研究部門長 佐々木 毅】 ナノ粒子機能設計グループ 中村 徹 主任研究員らは、最先端の半導体製造プロセスにおいて用いられているエッチング用のフッ素系ガス成分を、選択的かつ高感度（2 ppmを1分以内）に検知できる検知剤を開発するとともに、開発した検知剤を搭載したコンパクトな漏洩検知器を試作した。
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2016/pr20160902/pr20160902.html