安全な水素社会の実現に向けて高速検知と低消費電力を両立した水素センサーを開発 [東芝]

当社は、検知速度を落とすことなく、従来（注1）の約100分の1以下の低消費電力で水素ガスを検知する水素センサーを開発しました。センサー膜にパラジウム系金属ガラス（注2）を用いた当社独自のMEMS（注3）構造を採用することで、従来トレードオフの関係にあった高速検知と低消費電力を両立することに成功しました。
http://www.toshiba.co.jp/rdc/detail/1706_03.htm