国立研究開発法人物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 (MANA) の長田 実MANA主任研究者、佐々木高義 拠点長らの研究グループは、高誘電体 (高い誘電率を有する物質) として知られる層状ペロブスカイト構造を持つナノシートを作製し、原子レベルの層構造の制御により高誘電率化を実現し、膜厚10nm以下のナノスケール領域で世界最高性能 (誘電率 : 470) を有する誘電体膜の開発に成功しました。
国立研究開発法人物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 (MANA) の長田 実MANA主任研究者、佐々木高義 拠点長らの研究グループは、高誘電体 (高い誘電率を有する物質) として知られる層状ペロブスカイト構造を持つナノシートを作製し、原子レベルの層構造の制御により高誘電率化を実現し、膜厚10nm以下のナノスケール領域で世界最高性能 (誘電率 : 470) を有する誘電体膜の開発に成功しました。