新型高性能機器免震装置「TASSユニット®」を開発 [大成建設]

大成建設株式会社(社長:相川善郎)と株式会社エーエス(社長:森明広)は、2009年に共同開発した半導体製造装置向け高性能免震装置「TASSユニット」を改良し、この度、様々な形状の半導体製造装置に対応でき、短期で納品が可能となる新型TASSユニットを開発しました。免震装置の共通ユニット化と設置架台の合理化により、従来型の免震性能を維持したまま製作期間が従来の半分に短縮され、半導体装置を設置した架台の歩行振動も抑制されるなど、安定した半導体製造が可能となり生産性向上を図ることができます。

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