独立行政法人物質・材料研究機構（理事長：潮田 資勝）極限計測ユニット（ユニット長：藤田大介）の倉橋 光紀主幹研究員と山内 泰グループリーダーの研究グループは、分子軸とスピンの向きを指定できる酸素分子ビームを世界で初めて開発した。これをシリコン表面の酸化反応に適用し、分子軸が表面に殆ど平行な酸素分子のみがシリコン酸化反応に寄与することを発見した。
独立行政法人物質・材料研究機構（理事長：潮田 資勝）極限計測ユニット（ユニット長：藤田大介）の倉橋 光紀主幹研究員と山内 泰グループリーダーの研究グループは、分子軸とスピンの向きを指定できる酸素分子ビームを世界で初めて開発した。これをシリコン表面の酸化反応に適用し、分子軸が表面に殆ど平行な酸素分子のみがシリコン酸化反応に寄与することを発見した。